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高精密氣浮移動平臺

產(chǎn)品編號
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參數(shù)

XY直線電機(jī)運(yùn)動平臺光柵分辨率sin\cos 4.88nm（可選其它更高分辨率）持續(xù)220N 峰值440N推力，空載加速度3-4.5g,重復(fù)定位精度±0.5um,定位精度±0.5um,平面度±1um最大速度500mm/s

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