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參數(shù)

X軸單軸直線電機(jī)平臺光柵分辨率0.1um,重復(fù)定位精度≤正負(fù)0.3um,定位精度≤正負(fù)1um

未找到相應(yīng)參數(shù)組，請于后臺屬性模板中添加

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