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產(chǎn)品描述
參數(shù)
D3111是專門針對(duì)高端劃片機(jī)加工開發(fā)的專用4軸系統(tǒng),該系統(tǒng)的XY及R軸采用氣浮導(dǎo)軌承載,擁有遠(yuǎn)超機(jī)械導(dǎo)軌的壽命、平面度、直線度及定位精度。由于是非接觸導(dǎo)軌,不存在磨損以及機(jī)械導(dǎo)軌不可避免的潤(rùn)滑及生銹問(wèn)題,可勝任高頻率連續(xù)使用,平均無(wú)故障時(shí)間高達(dá)20,000小時(shí)。
整體系統(tǒng)采用致密穩(wěn)定的花崗巖基座,不存在鑄鐵基座應(yīng)力變形的問(wèn)題,在整個(gè)設(shè)備的生命周期中,可以始終維
持同樣的精度及行能。
Z軸采用IKO專利的C-LUBE長(zhǎng)時(shí)間免維護(hù)的不銹鋼滾柱導(dǎo)軌,在保證精度的同時(shí)擁有十分優(yōu)異的性能及精度。
未找到相應(yīng)參數(shù)組,請(qǐng)于后臺(tái)屬性模板中添加
上一個(gè)
多軸組合應(yīng)用
下一個(gè)
晶圓在線連續(xù)檢測(cè)系統(tǒng)
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