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應(yīng)用案例
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XY-500X350 十字疊加
負(fù)載10kg, 最大速度150mm/s， 重復(fù)精度+/-0.5um。 持續(xù)推力 上軸75N，下軸150N。 光柵分辨率0.1um.
XY-165X125
負(fù)載1kg,行程 165x125mm，持續(xù)推力 上軸 2.7N，下軸4.5N， 光柵分辨率0.1um, 重復(fù)精度+/-0.5um，最大速度30mm/s。
XY-110X70
負(fù)載1kg, 最大速度100mm/s，行程110x70mm， 重復(fù)精度+/-0.3um，光柵分辨率0.1um。持續(xù)推力 上軸2.7N，下軸4.5N.
100-100管式電機(jī)模組
XY精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，用于半導(dǎo)體，3C等檢測(cè)設(shè)備。
負(fù)載<2kg， 行程100x100mm， 最大速度80mm/s， 重復(fù)精度+/-0.5um，持續(xù)推力4.5N。
NPM-S310
負(fù)載5kg, 最大速度300mm/s，重復(fù)精度+/-0.3um。持續(xù)推力20N，光柵分辨率50nm.
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XY-500X350 十字疊加
負(fù)載10kg, 最大速度150mm/s， 重復(fù)精度+/-0.5um。 持續(xù)推力 上軸75N，下軸150N。 光柵分辨率0.1um.
XY-165X125
負(fù)載1kg,行程 165x125mm，持續(xù)推力 上軸 2.7N，下軸4.5N， 光柵分辨率0.1um, 重復(fù)精度+/-0.5um，最大速度30mm/s。
XY-110X70
負(fù)載1kg, 最大速度100mm/s，行程110x70mm， 重復(fù)精度+/-0.3um，光柵分辨率0.1um。持續(xù)推力 上軸2.7N，下軸4.5N.
100-100管式電機(jī)模組
XY精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，用于半導(dǎo)體，3C等檢測(cè)設(shè)備。
負(fù)載<2kg， 行程100x100mm， 最大速度80mm/s， 重復(fù)精度+/-0.5um，持續(xù)推力4.5N。
NPM-S310
負(fù)載5kg, 最大速度300mm/s，重復(fù)精度+/-0.3um。持續(xù)推力20N，光柵分辨率50nm.
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