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超精密氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)
產(chǎn)品編號(hào)
產(chǎn)品描述
參數(shù)
XY直線電機(jī)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)光柵分辨率sin\cos 4.88nm（可選其它更高分辨率）持續(xù)220N 峰值440N推力，空載加速度3-4.5g,重復(fù)定位精度±0.5um,定位精度±0.5um,平面度±1um最大速度500mm/s
未找到相應(yīng)參數(shù)組，請(qǐng)于后臺(tái)屬性模板中添加
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